7月23日，青海省2020年科學技術獎勵結果公布，由黃河公司新能源分公司主導研發(fā)的“電子級多晶硅成套制備技術的研發(fā)及產業(yè)化”榮獲青海省科學技術進步一等獎。

電子級多晶硅是集成電路和分立器件的最基礎原材料，更是信息產業(yè)、集成電路產業(yè)、新能源產業(yè)發(fā)展的命脈。但其制備技術卻長期被美、德、日等發(fā)達國家封鎖，若只能依賴進口，猶如被人扼住了喉嚨。

“只有突破電子級多晶硅生產核心技術，徹底打破國外多晶硅企業(yè)壟斷市場，才能使我國擺脫集成電路關鍵基礎材料長期進口受制于國外的局面。”該項目的第一完成人——黃河公司黨委書記、董事長謝小平深知實現國產材料取代進口材料的重要性。

為實現集成電路硅材料國產化，完成進口替代，新能源分公司自2009年起就圍繞微電子單晶用多晶硅產品制備和產業(yè)化應用展開研究。十年磨一劍，在與浙江大學硅材料國家重點實驗室、浙江金瑞泓科技股份有限公司的共同研究合作下，目前已形成副產物四氯化硅高效循環(huán)利用技術、三氯氫硅氣體分離提純技術、高純多晶硅制備和質量控制技術等一系列核心自主技術，實現了微電子單晶用多晶硅產品的規(guī)模化生產。

該項目目前擁有完全自主知識產權，累計申請專利24項，其中獲得發(fā)明專利授權5項，受理發(fā)明專利6項，參與編制國家標準7部、行業(yè)標準4部。

依托項目研究，新能源分公司已經具備電子級多晶硅生產裝置工程化能力，并且成為國內唯一一家量產并批量銷售電子級多晶硅的企業(yè)。生產的“黃河水電多晶硅”經過ChemTrace、EAG、SGS等國內外20多家權威機構檢測和上百次下游企業(yè)的評估、試用，質量指標已與國外龍頭企業(yè)相當，完全滿足分立器件研磨片、3-6英寸拋光片、8英寸、12英寸外延片和拋光片的制造要求，產品質量達到國際先進水平，產品市場占有率逐年攀升，目前國內市場占有率達20%。

“經過多年深耕，新能源分公司已經成功突破電子級多晶硅生產核心技術，實現了在集成電路產業(yè)的大規(guī)模應用，徹底打破了國外市場壟斷，保障了我國集成電路硅材料產業(yè)的戰(zhàn)略安全，加快了我國6-8英寸、8-12英寸硅片和集成電路用高純硅材料產業(yè)化的進程。”黃河公司黨委委員、副總經理劉剛介紹道，特別是中美貿易紛爭激烈的背景下，新能源分公司推進了集成電路硅材料國產化進程，完成了進口替代，填補了電子級多晶硅生產技術和市場的空白。

“集成電路產業(yè)的發(fā)展關乎企業(yè)、關乎青海、更關乎國家。我們將繼續(xù)潛心鉆研，攻克難點，打造國家集成電路材料一流企業(yè)，擘畫高質量發(fā)展藍圖，全力推動國家基礎材料戰(zhàn)略安全。未來可期!”對于未來發(fā)展，新能源分公司總經理秦榕信心滿滿。作者：訾麗周國峰